기술소개

자원 재활용

연속형
TMAH 회수
이온교환

재활용 시스템 | TMAH 폐액

반도체 및 디스플레이 생산 공정에서 발생한 고농도 TMAH 폐액은 원재료 비용이 높은 고부가가치 제품이기에 회수하여
재활용 하는 것이 경제적입니다.

하지만 현존하는 대다수의 TMAH 폐액 재활용 기술은 복잡한 운전 방식, 넓은 설치 공간, 높은 에너지 소모,
재생된 TMAH의 순도를 보장할 수 없는 문제 등 단점이 있습니다.

SEP ENGINEERING은 고효율 회전식 연속이온교환 수지탑과 양이온교환 수지를 이용해,
기존 시스템 대비 고순도 TMAH 폐액을 높은 효율로 회수, 재활용 할 수 있는 설비를 설계·제작합니다.

TMAH 폐액 | 연속형 TMAH 회수 시스템

탱크

밸브

양이온 교환수지

  • TMAH
    폐액
  • 회전형
    이온교환
    수지탑
  • TMAH
    회수액
TMAH 폐액 | TMAH 이온교환 공정도

본 설비 도입 시

  • 수지 사용량 50 - 70%
  • 약품 사용량 30%
  • 초순수 사용량 50 - 70%
  • 발생 폐수량 50 - 70% 저감