반도체 공정에서 습식 식각제로 이용되는 BOE(Buffered Oxide Etchant)에칭액은 사용 완료 후 폐액으로 배출되며,
대량의 고체폐기물을 발생시키는 공법으로 매립됩니다.
해당 방식은 자원 낭비가 심하고 매립지 선정 또한 어려움이 따를 것으로 예상됩니다.
SEP ENGINEERING은 중국 우시시에 연 12만톤의 반도체 폐액(그 중 3만톤의 BOE폐액)을
처리·재활용 하는 합작법인을 설립해 2022년 현재 안정적으로 공장을 가동 중입니다.
SEP ENGINEERING은 BOE 폐액을 재활용하여 고부가가치의 공업용 화학제품
(이불화암모늄, 불화암모늄, 황산암모늄, 불산등)을 재생산해내는 공정을 개발 완료했습니다.
황산암모늄((NH4)2 SO4)
+ 불산(HF)혼합액 /
이불화암모늄(NH4 HF2) 용액 /
불화암모늄(NH4F) 용액
고순도의 황산암모늄 결정과
불산 용액 분리
이불화암모늄 결정,
불화암모늄 결정 분리
황산암모늄 · 불산 ·
이불화암모늄 ·
불화암모늄
본 기술은 SEP ENGINEERING의 노하우가 집약된 탄화규소 열교환기가 적용되어 시스템 설계가 컴팩트합니다.
기존 BOE 처리 시 대량의 고체폐기물이 발생하는 문제를 해결하고,
기업의 환경보호와 지속가능성장을 실현하는 기술