폐수처리 시스템 | TMAH

반도체 생산 공정 중 포토레지스트 현상액으로 사용되는 TMAH는 처리가 까다로운 난분해성·독성 물질입니다.
낮은 농도에서도 생태독성이 발현되므로 별도의 처리 없이 후단 처리조로 유입될 시, 질소 처리 효율 저하에
큰 원인이 됩니다.

본사는 다년간의 연구 끝에 TMAH를 분해하는 특허미생물을 선별하는데 성공하고,
특허미생물을 고농도로 유지할 수 있는 멤브레인 필터를 포함한 생물반응조 SEP-MBR을 직접 설계, 제작하여
TMAH 폐수 처리 시스템에 대해 높은 효율성과 안정성을 입증했습니다.